外延片構(gòu)成：

外延片指的是在襯底上生長出的半導(dǎo)體薄膜,薄膜主要由P型、量子阱、N型三個(gè)部分構(gòu)成。

外延片需要清洗嗎：

外延片在測量阻值之前需要進(jìn)行清洗，常用的清洗工藝步驟包括：清洗、甩干，然后測量。

外延片屬于半導(dǎo)體行業(yè)，半導(dǎo)體材料在制備過程中，每一道工序都涉及到清洗，而且清洗的好壞直接影響下一道工序，甚至影響器件的成品率。

VGT-1509FH超聲波清洗機(jī)：

外延片清洗用到的清洗機(jī)配置得有溢流槽與干燥槽。威固特VGT-1509FH超聲波清洗機(jī)共有15個(gè)功能槽，配置有循環(huán)過濾系統(tǒng)、浸泡系統(tǒng)、自動(dòng)恒溫系統(tǒng)、溢流系統(tǒng)、拋動(dòng)系統(tǒng)、超聲波清洗系統(tǒng)、慢拉脫水系統(tǒng)、熱風(fēng)烘干系統(tǒng)等。其中清洗部分與慢拉熱風(fēng)干燥部份分別獨(dú)立電器控制，設(shè)備采用環(huán)保型有機(jī)溶劑洗滌、水溶劑清洗、純水漂洗、慢拉脫水熱風(fēng)烘干，為環(huán)保型清洗機(jī)。

超聲波清洗是基于空化作用，即在清洗液中無數(shù)氣泡快速形成并迅速內(nèi)爆。氣泡是在液體中施加高頻（超聲頻率）、高強(qiáng)度的聲波而產(chǎn)生的。因此，任何超聲清洗系統(tǒng)都必須具備三個(gè)基本元件：盛放清洗液的槽、將電能轉(zhuǎn)化為機(jī)械能的換能器以及產(chǎn)生高頻電信號(hào)的超聲波發(fā)生器。

清洗設(shè)備的能力為3-8分鐘（可調(diào)）清洗一籃。

VGT-1509FH超聲波清洗機(jī)配置：

超聲水劑清洗槽：

1、每槽設(shè)四面溢流口，溢水槽寬35mm，各槽均為獨(dú)立循環(huán)槽，由循環(huán)泵將洗劑由儲(chǔ)液箱抽出經(jīng)過濾后再運(yùn)回清洗槽，即子目槽循環(huán)。

2、設(shè)置獨(dú)立循環(huán)過濾系統(tǒng)。

3、配置第四代超聲波發(fā)生器，從根本上保證超聲波到有效轉(zhuǎn)換率，保證超聲波效果并保證超聲波發(fā)生器質(zhì)量到穩(wěn)定性。

4、超聲波發(fā)生器內(nèi)設(shè)單片機(jī)，內(nèi)附特有到定時(shí)系統(tǒng)，可根據(jù)生產(chǎn)需要任意調(diào)整清洗時(shí)間并形成一對一的設(shè)置，定時(shí)更具靈活性，保證清洗到一致性。

5、儲(chǔ)液箱的設(shè)置是由隔板分成兩腔，分油后的清潔溶液經(jīng)循環(huán)泵重新抽入清洗槽，實(shí)現(xiàn)自我循環(huán)，提高溶液到利用率，而分離后到油排放到總排管。

超聲回用純水漂洗槽：

1、設(shè)置獨(dú)立槽。

2、槽底部設(shè)排液閥。

3、槽外設(shè)置拋動(dòng)。

4、設(shè)有加熱系統(tǒng)。

慢拉脫水槽：

1、槽體設(shè)齒狀溢流結(jié)構(gòu)，純水由純水預(yù)熱箱進(jìn)入。槽外貼保溫棉厚10mm。

2、槽體設(shè)“OMRON”數(shù)顯溫控系統(tǒng)，檢測槽內(nèi)工作溫度，溫控范圍：常溫-120℃。

3、槽體上部設(shè)抽風(fēng)小孔，將溢出水蒸汽抽走，防止水氣再次附著于提出到產(chǎn)品上。

4、在烘干槽頂部加設(shè)FFU系統(tǒng)，有效減少環(huán)境對洗凈效果到影響。（工件加溫后，對灰塵的附著力增強(qiáng)，F(xiàn)FU形成負(fù)壓可有效減少環(huán)境對洗凈效果到影響，從而根本上提高產(chǎn)品合格率）。